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1）氣體電離：此過程主要是在電暈與集塵集之間需要施加直流高電壓，一般需要電壓控制在40~70KV時釋放電發生電暈放電，氣體則需要電離，生成大量的自由電子和正離子。
2）粉塵荷電：而氣流需要通過電場時才由自由電子、負離子與粉塵碰撞并附著其上，此狀態下實現粉塵的荷電；
3）粉塵沉降：荷電粉塵在電場中需要受到靜電力的作用才能被驅往集塵，此過程需要經過一定時間后方可到達集塵的表面，放出所帶電荷方可沉集其上；
4）清灰：集塵表面上的粉塵則需要沉集到一定的厚度后，方可用電附著少量粉塵，也需要進行定時的清灰；
以上四項階段可見，為了保證靜電除塵器在率下運行，使用以上四個階段方可得到佳的效果。但是靜電除塵器在使用一段時間后除塵效率會逐漸的下降，下降的重要的一個物理因素就是板表面積的積灰增厚，線的結灰，會使除塵器的整個過程收到損害，從而導致整個移動式聲波清灰器除塵的效果不佳。
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